| Spezifikation | |
| Pullmesskopf | 8 N, 80 N |
| Schermesskopf | 8 N, 400 N |
| Messgenauigkeit | 0,1 % |
| Beheizbare Werkstückaufnahme | max. 300 °C |
| Achs-Genauigkeit | 0,5 µm |
| Achs-Geschwindigkeit | 5 mm/s |
| Abmessungen und weitere Daten | |
| Max. Substratgröße | 140 mm x 100 mm |
| Maschinendimensionen (B x T x H) | 550 mm x 580 mm x 595 mm |
| Leistung | 100 Watt |
| Betriebstemperatur | -10°C – 60°C |
| Lebensdauer Kaltlichtquelle | 20000 – 80000 h |