Herausragendes Rasterelektronenmikroskop der Fa. TESCAN mit einzigartiger Kombination aus feldfreier Ultra-High-Resolution BrightBeam™ REM-Optik und Xenon Plasma-FIB. Damit können unterschiedlichste Applikationen präzise präpariert, analysiert und schließlich charakterisiert werden. Das high-end System AMBER X ist bestens geeignet für hohe Durchsätze, großflächiges Ionenpolieren und eine feldfreie bis zu 0,9nm ultrahochauflösende Bildgebung zur 2D- und 3D-Charakterisierung auf unterschiedlichsten konventionellen und neuartigen Materialien. Zusätzlich ist ein vollintegriertes RAMAN Mikroskop der Fa. WITec verbaut, mit welchem sich Struktur, Oberfläche und molekulare Bestandteile an derselben Probenstelle messen und wechselweise in Beziehung setzen lassen. Komplettiert wird das System durch einen EDX- und EBSD Detektor der Fa. Bruker. EBSD ist eine sehr leistungsfähige Technik zur Analyse von Mikrostrukturen und zur Phasenidentifikation. Durch die Messung der Gitterorientierung der Körner und die Ermittlung der Phasenverteilung hilft EBSD dabei, die kristallographisch bevorzugten Ausrichtungen zu bestimmen und Verformungs- und Phasenumwandlungsmechanismen zu verstehen. Mit dem EDX-Detektor kann die spezifische elementare Zusammensetzung einer Materialoberfläche dargestellt werden. All diese mikroanalytischen Werkzeuge bieten darüber hinaus ein beispielloses Potenzial für die multimodale FIB-REM-Tomographie.
Maschinendaten
BrightBeam™ Field-Free UHR-SEM Säule
- Maximaler Field of view (Fov): 7 mm at WD = 6 mm; > 50 mm bei maximaler Working Distance (WD)
- Elektronenstrahl-Landeenergie: 50 eV – 30 keV
- Strahlstrom: 2 pA – 400 nA, kontinuierlich einstellbar
- Auflösung: 1,5 nm bei 1 keV und 0.9 nm bei 15 keV (feldfrei)
- Vergrößerung: 2x – 2.000.000x
Detektoren
- Everhart-Thornley (E-T) Kammer-Detektor für BrightBeam™ UHR Säule
- Motorisiert rückziehbarer YAG BSE-Detektor
- In-Beam Multidetektor mit zuschaltbarer Energiefilterung für SE- und BSE-Elektronen
- HADF-R-STEM Detektor, motorisiert
i-FIB+™ Plasma Focused Ion Beam Column (Xenon Plasma-FIB)
- Anregungsspannung: 3 keV – 30 keV
- Maximaler Field of view (Fov): 1 mm
- Strahlstrom: 1 pA – 3 µA
- Auflösung: < 15 nm bei 30 keV
TESCAN Essence FIB-SEM Tomographie
Platin Gas Injektionssystem (GIS)
3D Nano-Manipulator zur TEM-Lamellen Extraktion
Motorisierter, 5-Achsen Compucentric-Tisch
- Verfahrweg der X- & Y-Achse: 130 mm
- Verfahrweg der Z-Achse: 90 mm
- Neigungsbereich: compucentrisch, -60° bis +90°
- Rotation: compucentrisch, 360° (kontinuierlich)
- Max. Probenhöhe: 90 mm (132 mm ohne Tischrotation)
Vakuumkammer und -system
- Breite: 340 mm
- Tiefe: 315 mm
- Hochvakuum: < 9×10^-3 Pa
- Niedrigvakuum: 7–500 Pa
Analytik
- BRUKER QUANTAX 200 EDX/SDD6/60 mm2, 126 eV
- BRUKER QUANTX 400 EBSD – 3D CUBE
- WITEc RAMAN RISE System mit All-Inclusive RAMAN-Datenbank
Probenpräparation
- Cressington 108 auto Sputter Coater
- Cressington Coater 108 carbon/A
Kofinanziert durch die
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