Das am Fraunhofer IWS entwickelte LAwave®-Messsystem dient zur schnellen und zerstörungsfreien Charakterisierung von Schichten und Oberflächen. Das zugrundeliegende Verfahren ist wissenschaftlich etabliert und gewinnt zunehmend auch Bedeutung im industriellen Bereich für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle.
Es basiert auf dem Prinzip der laserakustischen Oberflächenwellen-Spektroskopie. Dabei wird die frequenzabhängige Ausbreitungsgeschwindigkeit von Oberflächenwellen bestimmt, die direkt von der Schichtdicke, der Dichte und den effektiven elastischen Eigenschaften abhängt. Störeinflüsse wie Poren, Risse und Delamination werden deshalb indirekt mitgemessen.
Die Rohdaten lassen sich je nach Anwendung mit einem physikalischen Materialmodell auswerten, mit unabhängig gemessenen Eigenschaften korrelieren oder mit Gut/Schlecht-Training bewerten.
Merkmale
- Zerstörungsfrei
- Messzeit von weniger als einer Minute
- Hohe Reproduzierbarkeit
- Entspricht EN 15042-1
- Extrem breiter Anwendungsbereich
- Vollintegrierte Software mit verschiedenen Nutzerstufen
- Messung und Auswertung automatisierbar
- Integrale Aussage über Messfläche (ca. 5×10 mm2)
- Sensoren für 1-20 MHz und 20-200 MHz
Werkstoffe und Materialien Elastizitätsmoduls, Dicke und Dichte von
- PVD-Schichten, z.B. ta-C und a-C:H
- CVD-Beschichtungen and CVD-Diamant
- Thermische Spritzschichten
- Laserauftragschweißen
- Einkristalline Halbleiter, Si-Wafer
- 3D-generierte Materialien (z.B. LSM)
- Vollmaterialien, z.B. Stahl, Messing, Aluminium, Hartmetalle