Christian Voigt
Spezifikation
Messprinzip Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation
Vergrößerung 42x bis 28800x (Bei verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige)
Anzeigeauflösung in Z, Laser 1 nm
Wiederholgenauigkeit (σ) in Z, Laser 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm
Anzeigeauflösung in XY, Konfokaler Laser 1 nm
Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY, Laser 10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm
Anzeigeauflösung in Z, Fokusvariation 1 nm
Wiederholgenauigkeit (σ) in Z, Fokusvariation 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm
Anzeigeauflösung in XY, Fokusvariation 1 nm
Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY, Fokusvariation 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm
Abmessungen und weitere Daten
max. Probenhöhe  70 mm

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