Christian Voigt
| Spezifikation | |
| Messprinzip | Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation |
| Vergrößerung | 42x bis 28800x (Bei verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige) |
| Anzeigeauflösung in Z, Laser | 1 nm |
| Wiederholgenauigkeit (σ) in Z, Laser | 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm |
| Anzeigeauflösung in XY, Konfokaler Laser | 1 nm |
| Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY, Laser | 10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm |
| Anzeigeauflösung in Z, Fokusvariation | 1 nm |
| Wiederholgenauigkeit (σ) in Z, Fokusvariation | 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm |
| Anzeigeauflösung in XY, Fokusvariation | 1 nm |
| Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY, Fokusvariation | 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm |
| Abmessungen und weitere Daten | |
| max. Probenhöhe | 70 mm |