Christian Voigt
| Spezifikation | |
| Messprinzip | Streifenprojektionslicht |
| Vergrößerung | 12x bis 160x (Bei verwendung mit einer15-Zoll-Vollbildanzeige) |
| Messauflösung (Höhenmessung) | bis zu 0,1 µm |
| Wiederholgenauigkeit (σ) (Höhenmessung) | bis zu 0,4 µm |
| Messgenauigkeit (Höhenmessung) | ±2,5 µm |
| Abmessungen und weitere Daten | |
| XY Messbereich | 300 x 150 mm |