Fineplacer „PICO“ FINETECH

 

Spezifikation
Aufheizrate max. 4K/s
Aufheiztemperatur 400°C
Platziergenauigkeit 5µm
Zoom-Faktor 6
Vergrößerung/Bildfelddurchmesser 9,9x/23,9mm bis 63x%3,8mm
Abmessungen und weitere Daten
Temperaturkonstanz an der Meßstelle ± 3%
Übertemperaturabschaltung >420°C
Max. Luftstromtemperatur 360°C
Eingangsdruck 6 bar (+1/-0,5)
Für Substrate bis 234 mm x 410mm