| Spezifikation | ||
| Aufheizrate | max. 4K/s | |
| Aufheiztemperatur | 400°C | |
| Platziergenauigkeit | 5µm | |
| Zoom-Faktor | 6 | |
| Vergrößerung/Bildfelddurchmesser | 9,9x/23,9mm bis 63x%3,8mm | |
| Abmessungen und weitere Daten | ||
| Temperaturkonstanz an der Meßstelle | ± 3% | |
| Übertemperaturabschaltung | >420°C | |
| Max. Luftstromtemperatur | 360°C | |
| Eingangsdruck | 6 bar (+1/-0,5) | |
| Für Substrate bis | 234 mm x 410mm | |