Im Rahmen des Anlagenumbaus wurde die ursprüngliche Einhausung der Plasma Coating Unit durch eine hermetisch abgeriegelte Prozesskammer ersetzt. Dieses wurde von der Leoni AG dem Lehrstuhl über eine Spende bereitgestellt. Die bestehende Anlagentechnik wurde in der neuen Prozesskammer verbaut, Proben...

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