Die Femto-SL-PCCE von Diener Electronics ist ein kompaktes, vielseitiges Niederdruckplasmasystem für Labor- und Kleinserienanwendungen. Das Gerät nutzt die kalte Plasmatechnologie im Vakuum zur kontrollierten Feinstreinigung, Oberflächenaktivierung, Ätzung sowie zur Beschichtung dünner Schichten auf nahezu beliebigen Substratoberflächen.
Das Plasma wird durch Anlegen einer hochfrequenten Spannung in der evakuierten Kammer erzeugt, wobei das eingeleitete Prozessgas ionisiert wird. Je nach Prozessgas und Leistungseinstellung lassen sich organische Kontaminationen VOC-frei entfernen, Oberflächen für nachfolgende Klebe-, Löt-, Verguss- oder Bondprozesse aktivieren sowie Oxidschichten oder Fotolacke gezielt abgetragen werden. Hydrophile und hydrophobe Beschichtungen durch Plasmapolymerisation sind ebenfalls realisierbar.
Technische Daten:
- Gehäuse: Standgerät (SL)
- Breite: ca. 600 mm
- Tiefe: ca. 600 mm
- Höhe: ca. 800 mm
- Stromversorgung: 230 V / 8 A
- Vakuumkammer: Edelstahl, rechteckig
- Kammergröße: B: 103 mm, H: 103 mm, T: 285 mm
- Generator: 100 kHz, 0 – 500 W
- Steuerung: PCCE (Microsoft Windows CE)
- Anwendungsbereiche:
- VOC-freie Plasmafeinstreinigung (Silikon, Kunststoff, Kupfer, Nickel u. v. m.)
- Aktivierung vor dem Kleben, Vergießen, Löten, Bonden und Bedrucken
- Ätzen von PTFE, Fotolack und Oxidschichten
- Superhydrophobe und superhydrophile Beschichtungen (Plasmapolymerisation)
- Sterilisation
- Textilanwendungen