| Spezifikationen | |
| Hersteller | Micro Epsilon |
| Typbezeichnung | Controller IFC 2421 mit Sensor IFS 2405-1 |
| Messbereich | 1 mm |
| Auflösung | 28 nm |
| min. Dicke des Messobjekts | 0,05 mm |
| Linearität Weg-/Abstandsmessung | < ± 0,25 µm |
| Linearität Dickenmessung | < ± 0,5 µm |
Hochpräzises Konfokal-chromatisches Abstands- und Dickenmesssystem