Spezifikation | |
Messprinzip | Streifenprojektionslicht |
Vergrößerung | 12x bis 160x (Bei verwendung mit einer15-Zoll-Vollbildanzeige) |
Messauflösung (Höhenmessung) | bis zu 0,1 µm |
Wiederholgenauigkeit (σ) (Höhenmessung) | bis zu 0,4 µm |
Messgenauigkeit (Höhenmessung) | ±2,5 µm |
Abmessungen und weitere Daten | |
XY Messbereich | 300 x 150 mm |