Oberflächenmessgerät UBM Messtechnik

Spezifikation
Autofokusbereich ± 50µm, ±500µm
Lasertriangulation ± 5000µm
vertikale Auflösung 0,2µm / 0,02µm
Meßfrequenz (div. Reglermodi) 140Hz / 1.200
Wellenlänge 780 mm
Abmessungen und weitere Daten
Arbeitsabstand ca. 2mm
Verfahrweg je Achse 50mm
rel. Geradheitsabweichung <± 1µm
Ebenheit <± 2µm
Betriebstemperatur 15°C ↔ 30°C
rel. Feuchte (nicht kondensierend) ≤ 85%