Hochpräzises Konfokal-chromatisches Abstands- und Dickenmesssystem

Spezifikationen
Hersteller Micro Epsilon
Typbezeichnung Controller IFC 2421 mit Sensor IFS 2405-1
Messbereich 1 mm
Auflösung 28 nm
min. Dicke des Messobjekts 0,05 mm
Linearität Weg-/Abstandsmessung < ± 0,25 µm
Linearität Dickenmessung < ± 0,5 µm

 

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